- Olympus 社 OLS5100 Head 장착

   - Wafer 검사 영역을 지정하여 자동으로 측정

   - 측정 결과를 리포트로 출력

   - 고객이 희망하는 광학계 장착 가능

- Olympus 社 8Inch Auto Loader와 OLS5100(3D Laser Measurment)을

결합한 제품으로 Olympus Loader를 통하여 8Inch Wafer to Stage로 이송 후 고객사에서 원하는 측정 위치를 OLS5100 (3D Laser Measurment)로 측정 (사이즈, 단차등)하는 자동화 설비입니다.
※ Wafer, Solar Cell, Film, PCB, 다양한 부품 측정 가능
※ Wafer 자동화 측정 설비로 반도체 사각, 사선, 원형, 다각형등 다양한 측정 모드 제공합니다.