- KCS 인증

- Wafer Dumping
- Wafer 홀/짝 분리

- Wafer Align Notch, Flat

- Wafer OCR Reading
- Wafer OCR 정렬 및 이송 정렬
- Wafer 400um, 720um

- 8inch or 12inch 3 Port System​

※ Robot Arm과 Aligner를 이용하여 Cassette에 Wafer를 이송 및 정렬하는 자동화 설비입니다.