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Measurement System
Automated Stage with OLS
Automated Stage with OLS
- Olympus 社 OLS5100 Head 장착
- 고객이 희망하는 광학계 장착 가능
- 스테이지 사이즈 커스터마이징 가능
- 검사 위치를 지정하여 자동으로 측정
- 측정 결과 리포트 출력
- 대면적 스테이지와 OLS5100(3D Laser Measurment)을 결합한 설비
고객사의 제품(Crystal Window)을 지정된 위치로 스테이지 이동 및 OLS5100 (3D Laser Measurment)으로 자동 측정 (사이즈, 단차등)하는 자동화 설비입니다.
※ Wafer, Solar Cell, Film, PCB, 다양한 제품 자동화 측정 가능

Specification

Operation Video

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