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Measurement System

Warpage Measure System

With Coaxial Displacement Sensor

- 동축 변위 센서 장착
- Wafer Size에 따라 센서 선정
- Wafer Stage 수동 또는 전동 제작 가능

- 4inch, 6inch, 8inch, 12inch Wafer 측정 가능

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Specification

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