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Measurement System
Automated 8" 12" Wafer Measure System
- Olympus 社 OLS5100 Head 장착
- Wafer 검사 영역을 지정하여 자동으로 측정
- 측정 결과를 리포트로 출력
- 고객이 희망하는 광학계 장착 가능
※ 6~8inch, 12inch Wafer를 Robot Arm 이용하여 Aligner 이송 및 Align(Flat, Notch) 실행후 전동 무빙 스테이지로 이송합니다. 고객사에서 원하는 측정 위치를 OLS5100 (3D Laser Measurment)로 측정(사이즈, 단차등)하는 자동화 설비입니다.
※ Wafer 자동화 측정 설비로 반도체 사각, 사선, 원형, 다각형등 다양한 측정 모드 제공합니다.
Specification
◎ SYSTEM 구성
WAFER HANDLER
200mm / 300mm Wafer (Material : Ceramic)
LENS
OLYMPUS Lens or Telecentric Lens
CAMERA
고성능 Digital Camera 장착
STAGE
Motorized Stage (Auto Focus, Multi-Field Inclustion Mapping)
SOFTWARE
1. Wafer Loader Control
2. Process Control
3. Edge Trim Length & Depth 자동 측정
4. Recipe 기능
5. Pattern Align 기능
6. Auto Focus & Auto Travel 기능
7. 측정결과 FTP Server 저장 기능(공유폴더)
Operation Video
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