Automated Wafer Reflectometer System

- 제품명 : 박막두께 측정 자동화 설비
   - Wafer 박막두께를 자동으로 측정

   - 측정 결과 리포트로 출력

   - 고객이 희망하는 광학계 장착 커스터마이징 가능

- Olympus 社 8Inch Auto Loader와 막두께 센서를 결합한 제품으로  8Inch Wafer를 Loader를 통하여 Stage로 이송후 원하는 포인트를 자동 측정하는 설비 입니다.