- 제품명 : 막두께 및 면저항 측정기

- 고객사 요청 : Manual Type Put Wafer

- Modify EFEM 가능 (FOUP, Pre-Aligner, WTR(Robot Arm)
- 카메라와 조명을 이용해 Wafer Pre-Align
- Filmetrics 社 막두께측정기 F20

- Jandel 社 4PP(Four Point Probe) 면저항기 MF-20

- 막두께측정기와 면저항기를 결합한 자동화 설비

- 고객사 리포트 양식으로 결과파일 출력